|
Специальность:
КАФЕДРА “Материалов и процессов твердотельной электроники” была создана в 1999 году в результате объединения кафедр “Специальные материалы микроэлектроники” (СММЭ) и “Физико-химические основы технологии микроэлектроники” (ФХОТМ).
Кафедра ФХОТМ была образована 25 декабря 1967 г. как структурное подразделение Физико-химического факультета. Основатель кафедры ФХОТМ профессор, д.т.н. лауреат государственной премии СССР Чистяков Юрий Дмитриевич. Первые сотрудники кафедры Пекарев Александр Ильич, Гулидов Дмитрий Николаевич, Мочалов Алексей Иванович, Райнова Юлия Петровна. С 1988 по 1990 году кафедрой ФХОТМ заведовал д.т.н., профессор Александр Иванович Пекарев, а с 1990 г. по 1999 г. – д.т.н., профессор, заслуженный деятель науки РФ Игорь Николаевич Сорокин.
Кафедра СММЭ была организована в сентябре 1968 года. Основатель кафедры и ее руководитель с 1968 г. по 1999 г. - профессор, доктор технических наук, лауреат государственной премии СССР Евгений Борисович Соколов. Первые сотрудники кафедры: Прокофьева Виолетта Константиновна, Леви Валерий Александрович, Найда Галина Акимовна, Неустроев Степан Архипович.
В 1970 г на базе кафедры ФХОТМ создана ОНИЛ ФХПТМ. Начальником ОНИЛ стал бывший гл. инженер НИИ Материаловедения, к.т.н. Герасимов А.Д. Чуть позднее в 1971 г. была образована Всесоюзная Научная Школа по Эпитаксии с ежегодным проведением НТК “Активируемые процессы технологии микроэлектроники”.
Основными научными напралениями кафедры ФХОТМ и ОНИЛ ФХПТМ были “Технологические процессы и материалы электронной техники” и “Интегральные преоброзователи физических величин и средства автоматизации технологических процесов. В дальнейшем эти направления получили конкретное развие в следующих научных направлениях:
- Моделирование и оптимизация газофазных процессов микроэлектроники, рук. к.т.н., проф.Райнова Ю.П. В настоящеее время эти работы продолжаются в рамках российско-германского проекта, где методами голографической диагностики плазмы изучаются процессы тепло- и массопереноса при протекании быстрых термических процессов.
-Сенсорно-Актюаторная техника, рук. к.т.н., проф.Бутурлин А.И. Основным направлением работы группы является создание приборов – датчиков различных физико-химических величин: давления, влажности, алкоголя. Активное участие в разработке химических и физико-химических датчиков датчиков принимали с.н.с. Дикевич А.Я., к.т.н., доц. Гладков Ю.И., к.т.н., доц.Шарапов В.И.
-Материалы и процессы металлизации компонентов электронной техники, рук. к.т.н., проф.Мочалов А.И. Направлением научной деятельности группы являются разработка перспективных технологий межсоединений и контактных систем кремниевых СБИС с размерами элементов менее 0,5 мкм, изучение физико-химических процессов, протекающих в микрогетерогенных системах, какими являются контактирующие между собой тонкие слои (толщиной 5-100 нм) металлов, полупроводников и диэлектриков. Группа ведет совместные работы с ведущими предприятиями электронной промышленности - “НИИ молекулярной электроники и завод Микрон”, “Корона”, активно сотрудничает научными институтами, такими как ИФХ РАН и НИИ “Химавтоматика”.
-Физико-химические основы прецизионной обработки поверхности, рук.проф.Сорокин И.Н., д.т.н., доц.Гаврилов С.А. В рамках данного направления проводятся исследования электрохимических процессов обработки поверхности твердого тела для целей микро-, нано-, оптоэлектроники и технологии сенсорных устройств. Под руководством И.Н.Сорокина защищены 28 кандидатских диссертаций. Опубликованы более 460 научных трудов, включая 4 монографии и 34 учебных пособия. Результаты научной деятельности группы используются при выполнении совместных с МГУ, ИОФ РАН, ФИ РАН, ГИРЕДМЕТ, исследовательских работ, финансируемых РФФИ и государственной программой "Физика твердотельных наноструктур''.
-Дефекты кристаллической структуры и методы их исследования, рук.направления в разные годы -д.т.н., проф.Пекарев А.И,, д.т.н., проф.Гулидов Д.Н., к.т.н., доц.Матына Л.Т.
- Математическое моделирование процессов технологии микроэлектроники и создание электронных тренажеров с применением современных информационных технологий, рук. к.т.н., доц. Акуленок Л.И.
За время существования кафедры под непосредственным научном руководстве проф. Ю.Д.Чистякова и других научных сотрудников кафедры подготовлено 12 докторов наук и более 120 кандидатов наук
Под редакцией проф.Чистякова Ю Д. переведены и изданы двухтомник “Технология СБИС” и “Силициды для СБИС”. Написаны и изданы монография “Физико-химические основы технологии микроэлектроники” и другие учебные пособия, более 20-ти.
За тот же период выпущено более 600 инженеров-технологов для предприятий электронной промышленности, многие из которых в настоящее время яляются руководителями крупных научных и производственных коллективов, награжденные правительсвенными орденами и медалями.
Основным базовым предприятием кафедры СММЭ являлся научно-исследовательский институт материаловедения Минэлектронпрома. Директора этого института принимали активное участие в становлении учебного процесса, начиная с первого директора НИИМВ, чл.-корреспондента РАН Андрея Юрьевича Малинина, а также корреспондента РАН Бориса Георгиевича Грибова, профессора Леонида Андреевича Иванютина и выпускника кафедры, директора НИИМВ, к.т.н. Юрия Федоровича Козлова.
Учебный процесс на кафедре в значительной степени основан на научно-исследовательской работе.
Цикл работ области технологии полупроводниковых материалов осуществляется под руководством д.т.н., профессора Соколова Е.Б..
Работы в области плазмохимии и оптоэлектроники осуществляются под руководством профессоров Неустроева С.А. и Раскина А.А.
Исследования электронейтральных примесей в электронных полупроводниках позволило разработать новый технологический процесс, повышающий качество монокристаллов для производства СБИС (проф.Прокофьева В.К., доц.Рыгалин Б.Н.).
Работы по эпитаксии широкозонных полупроводников (нитриды элементов третьей группы на сапфире) привели к получению структур, имеющих хорошую перспективу в опто и акустоэлектронике (к.т.н.Найда Г.А., д.т.н.Добрынин А.В., к.т.н.Смирнов А.В.)
Хорошую перспективу имеет цикл работ по импульсно-плазменной технологии в области наноэлектроники, возглавляемых к.т.н., доцентом Рощиным В.М.
НИР кафедры отмечены государственной премией СССР, премиями Минвуза и других ведомств.
За период работы кафедры СММЭ (1968-1999 г.г.) выпущено более 1000 инженеров и около 130 кандидатов наук.
В 1999 году, после объединения кафедр СММЭ и ФХОТМ, заведующим объединенной кафедры МПТЭ избран д.ф-м.н., профессор Юрий Николаевич Коркишко.
Помимо вышеперечисленных научных направлений на кафедре стало развиваться направление волноводной оптики и оптоэлектроники (д.ф.-м.н, проф.Коркишко Ю.Н. и д.ф.-м.н., проф.Федоров В.А., к.ф.-м.н., доц. Кострицкий С.М.).
Результаты работ группы волноводной оптики представлены и получили признание на многочисленных Международных симпозиумах и конференциях и опубликованы в изданной в 1999 г. в Кембридже книге “Ion exchange in Single Crystals for Integrated Optics and Optoelectronics”, а также в ведущих научных журналах мира (более100 статей).
Группа неоднократно удостаивалась персональных грантов Президента РФ, Соросовского фонда, государственных научных стипендий, премии Европейской Академии, золотой медали РАН для молодых ученых. Проводятся научно-исследовательские работы по заказам Ракетно-Космической Корпорации “Энергия”, Пермской Приборостроительной Компании, фирмы New Transducers Ltd. (Великобритания), DAEWOO (Корея) и ряда других организаций по созданию элементной базы опто- и акустоэлектронных систем нового поколения. Фундаментальные исследования проводятся в рамках грантов РФФИ, ФЦП “Интеграция”, ИНТАС, Научной программы НАТО, Американского Фонда Гражданских исследований (CRDF), Национального Научного Фонда США (NSF), программы “Университеты России –фундаментальные исследования”, а также инициативных совместных работ с университетами Италии, Испании, Франции, США, Швеции. Профессора Коркишко Ю.Н. и Федоров В.А. являются действительными членами ряда междунароных научных обществ: SPIE, IEEE и LEOS , включены в 14-е издание “Who is Who in the World”, “Dictionary of International Biography”, “Outstanding People of the 20 Century, Cambridge, и “Кто есть Кто в России”, “Известные руcские”.
В 2001 г. на базе разработок группы создано российско-малазийское предприятие “Оптолинк” по производству изделий оптоэлектроники.
В настоящий момент кафедра МПТЭ обладает высоким интеллектуальным, научным и педагогическим потенциалом. В ее состав входят 6 докторов наук (4 доктора технических наук и 2 доктора физико-математических наук) и 12 кандидатов наук, среди преподавателей кафедры 9 профессоров и 7 доцентов.
По своему назначению кафедра осуществляет подготовку бакалавров и магистров по направлению “Электроника и микроэлектроника” и инженеров по специальности “Материалы и компоненты твердотельной электроники” и охватывает все специализации Физико-Химического отделения факультета ЭТМО МИЭТ. Подготовка магистров проводится по магистерским программам: “Процессы микро- и наноэлектроники”, “Полупроводниковые материалы и структуры” и “Квантовая и оптическая электроника”.
Кафедра МПТЭ является одной из основных выпускающих кафедр факультета Электронных технологий, материалов и оборудования МИЭТ и готовит специалистов для предприятий электронники и научных организаций как в России так и в зарубежных странах. Кафедра обучает общепрофессиональным и специальным дисциплинам в области технологических процессов микроэлектроники, технологии получения новых материалов и структур, материалам, процессам и устройствам оптоэлектроники и волноводной оптики, а также современным методам исследования материалов и компонентов твердотельной электроники.
Студенты, выпускающиеся по кафедре, проходят практику на предприятиях и научно-исследовательских институтах Зеленограда, прежде всего, на таких корпорациях, как “Ангстрем”, “Микрон” и “Элма”, где они могут сделать успешную карьеру после окончания МИЭТ.
Часть студентов проходит практику на кафедре “Материалы и процессы твердотельной электроники” и совместном предприятии “Оптолинк”, где приобретают практические навыки в проведении научно-исследовательских работ в области Оптоэлектроники и волноводной оптики, Технологии микро- и наноэлектроники, Сенсорики и Технологии новых материалов. Приобретенные студентами знания позволяют им легко ориентироваться в соответствующих мировому уровню достижениях науки и техники и технологии. Лучшие практиканты могут продолжить свое образование в аспирантуре, а затем и докторантуре кафедры и имеют возможность для стажировки в крупнейших университетах мира. Для этого созданы все условия, так как на кафедре проводятся научно-исследовательские работы в рамках четырех международных проектов: российско-итало-испанского, российско-итальянского российско-английского и российско-американского. Ведутся совместные исследования с университетом штата Флорида, королевским технологическим институтом г.Стокгольма, университетом г.Ницца, Мадридским университетом, университетом г.Падуя, Софийским университетом, университетом г.Вильнюса, а также рядом зарубежных компаний, таких как New Transducers Ltd., Corning OTI и др.
|
